Hjem > Nyheder > Industri nyheder

Alt du behøver at vide om ITO-sputtermål

2023-03-10


Det fulde navn på ITO er indiumtinoxid, som er sammensat af indium, tin og oxygen i forskellige proportioner. Materialet i ITO og ITO sputtermål er det samme. Sidstnævnte er faktisk en sort grå keramisk halvleder dannet ved at blande indiumoxid og tinoxidpulver i et bestemt forhold


Fremstillingsmetode for ITO-sputtermål


Vakuum varmpresning


Vakuum varmpresning bruger varme og mekanisk energi til at fortætte ITO-pulver og kan producere ITO-keramiske mål med høj densitet med en densitet på 91% ~ 96%. Denne metode kan nemt opnå ITO-mål med en tæthed tæt på den forventede tæthed og en porøsitet tæt på nul. På grund af begrænsningerne af udstyr og formstørrelse har vakuum varmpresning imidlertid færre fordele ved fremstilling af sputtermål i store størrelser


Varmt isostatisk tryk


Varm isostatisk presning (HIP) forbereder ITO-sputtermål ved sintring under tryk eller tryk ved høj temperatur. I lighed med vakuum varmpresning kan HIP opnå produkter med høj densitet (næsten teoretisk densitet) og fremragende fysiske og mekaniske egenskaber under opvarmning og tryk. Det er dog også begrænset af udstyrstryk og cylinderstørrelse


Normal temperatur sintring


Stuetemperatursintring er fremstillingen af ​​målpræforme med høj densitet ved gyllestøbning eller forpresning og derefter sintring for at opnå ITO-mål under en bestemt atmosfære og temperatur. Dens største fordel er, at den kan producere sputtermål i stor størrelse. Sammenlignet med andre sintringsmetoder er renheden af ​​målet fremstillet ved denne metode imidlertid lavere


Koldt isostatisk tryk


Kold isostatisk presning (CIP) bruger gummi eller plast som belægningsmateriale og væske som trykmedium til at overføre ultrahøjt tryk ved stuetemperatur. CIP kan også forberede større ITO-sputtermål. Det er også billigt og velegnet til masseproduktion. CIP kræver dog, at materialerne gennemgår højtemperatursintring ved 1500~1600 °C i et rent oxygenmiljø på 0,1~0,9 MPa, hvilket har en høj risiko


ITO target/ITO film/ITO ledende glas


Disse tre ord hænger sammen. Kort sagt fremstilles ITO ledende glas ved at sputtere eller fordampe et lag ITO tynd film på et ultratyndt glas. Her er ITO-målet kilden til indiumtinoxidatomer; Når disse indiumtinoxidatomer aflejres på substratet (glas), opnås ITO-film. Glasset belagt med ITO film kaldes ITO ledende glas


Anvendelse af ITO sputtermål


ITO-sputtermål og dets derivater, såsom ITO-film, ITO-glas, er meget udbredt i forskellige industrier. ITO-mål bruges ofte til at fremstille transparente ledende belægninger til flydende krystalskærme (LCD), fladskærme, plasmaskærme, berøringspaneler og andre skærme. ITO film bruges til organiske lysdioder, solceller og antistatiske belægninger. Ud over den elektroniske industri bruges ITO-mål også til forskellige optiske belægninger, de mest berømte er infrarød reflektionsbelægning og natriumdamplampeglas til biler